| პარამეტრი | სტანდარტული | სიზუსტე | მაღალი სიზუსტე |
| ფორმა / პროდუქტი | ბრტყელი ლინზა, სოლისებრი ფანჯარა, სხივის გამყოფი, ულტრაიისფერი ლაზერული ობიექტივი | ფანჯრები, სიბრტყე-ამოზნექილი, სიბრტყე-ჩაზნექილი, ორმხრივამოზნექილი, ორმხრივად ჩაზნექილი, სფერული, ასფერული, მართკუთხა პრიზმა, ტოლგვერდა დისპერსიული პრიზმა, ცილინდრული | — |
| დიზაინის ტალღის სიგრძე | 0.18 – 8 მკმ მაღალი გამტარობა | — | — |
| განზომილების დიაპაზონი | 10 მმ – 80 მმ | — | — |
| განზომილების ტოლერანტობა | ±0.1 მმ | ±0.025 მმ | ±0.01 მმ |
| სისქის ტოლერანტობა | ±0.1 მმ | ±0.025 მმ | ±0.01 მმ |
აპლიკაციები
1. DUV ლითოგრაფიული სისტემები ნახევარგამტარული ნანო-ნიმუშების შესაქმნელად 193 ნმ ლითოგრაფიული ობიექტივის ლინზებსა და ექსციმერული ლაზერული გამომავალი ფანჯრებისთვის გამოიყენება ექსიმერის კლასის CaF₂, რომელიც ხასიათდება დაბალი შთანთქმით და მაღალი ერთგვაროვნებით, რათა გაუძლოს მაღალი ინტენსივობის ლაზერულ გამოსხივებას.
2. ინფრაწითელი და ულტრაიისფერი გამოსახულების სისტემები ინფრაწითელი კლასის CaF₂ ლინზები უზრუნველყოფენ მაღალ გამტარობას 3–5 μm-ზე ინფრაწითელი თერმული გამოსახულების მისაღებად უსაფრთხოებისა და დაზვერვის მიზნით. VUV კლასის CaF₂ გადის >130 ნმ ვაკუუმურ ულტრაიისფერ გამოსხივებას, რაც შესაფერისია ულტრაიისფერი ფლუორესცენტული მიკროსკოპიისა და კოსმოსური ულტრაიისფერი გამოსახულების მისაღებად.
3. ინტერფერომეტრები და სპექტრომეტრები CaF₂-ის დაბალი დისპერსია და შესანიშნავი ერთგვაროვნება უზრუნველყოფს ზედაპირის ოპტიკური ტესტირების ზუსტ ჩატარებას. პრიზმებისა და ფანჯრების მსგავსად, მისი ფართო ულტრაიისფერი-იწწ გამტარობა აუმჯობესებს სპექტრული გაზომვის სიზუსტეს.
ტალღის სიგრძე 20 წელია ორიენტირებულია მაღალი სიზუსტის ოპტიკური პროდუქტების მიწოდებაზე